Вакуумные насосы, работающие со скоростью, достигающей десятков тысяч оборотов в минуту, обычно называют турбомолекулярными насосами; их основным компонентом является узел ротора, который вращается десятки тысяч раз в минуту. Такая конструкция заставляет молекулы газа вести себя так, как будто их ударяет быстро вращающаяся теннисная ракетка, непрерывно направляя их к выпускному отверстию насоса. Современные турбомолекулярные насосы могут достигать скорости вращения до 90 000 об/мин,-что соответствует 1500 оборотам в секунду.
Уникальные преимущества высоковакуумных-насосов
Сверхвысокий-уровень вакуума. Достижимый предельный уровень вакуума может достигать 10⁻⁸Па-, что на восемь порядков выше, чем уровень, достигаемый стандартными механическими насосами.
Чистота и отсутствие загрязнений-Не требует смазочного масла, что предотвращает обратный поток паров масла и последующее загрязнение вакуумной среды.
Быстрая откачка: достигает рабочего уровня вакуума всего за три минуты после запуска.
Многоступенчатая синергия: обеспечивает высокоэффективную перекачку за счет комбинированного действия молекулярного сопротивления и механического сжатия.
Типичные сценарии применения
В полупроводниковой промышленности эти устройства используются для нанесения покрытий на пластины; в научных исследованиях они помогают ускорителям частиц поддерживать среду сверх-высокого вакуума. Медицинские компьютерные томографы также используют их для сохранения герметичности вакуума рентгеновских трубок, а инфракрасные детекторы в инструментах астрономических наблюдений используют их для устранения тепловых помех, вызванных молекулами воздуха.
